本公司近期在ALD鍍膜上具有重大突破。備有 1.芬蘭Beneq P400A ALD量產設備乙台 直徑 (Ø) 400mm 最大基板大小240x240x720(mm) 2.國產6吋實驗型ALD設備乙台 直徑 (Ø) 6” 高度1000(mm) 可進行大型工件的氧化鋁Al2O3、氧化釔Y2O3、氧化鋯 ZrO...等原子鍍膜,歡迎業界前輩合作。並與王其仁經理EMAIL聯繫洽詢。E-mail: chijen.wang@passionfinefine.com