特用化學品 前驅物

前驅物(Precursors)是指在化學反應或製程中用來生成另一種物質的化學物質。在許多CVD和ALD鍍膜製程中，前驅物扮演著關鍵角色。在半導體製程中可以分為下列幾種應用：

1. High k ：如AlO、HfO、LaO、ZrO等的前驅物。
2. Epitaxial：如GaN、InGaAs、SiN等的前驅物。
3. Interconnect barrier：如TaN、TiN等前驅物。
4. Low k bulk dielectric：以Silane類的特氣為主。