特殊氣體-NF3,三氟化氮沛珅代理電子級三氟化氮，在半導體業中扮演「清潔劑」的角色。我們採用原廠自主研發的高效電解、凈化、低溫精餾技術，整合韓國DIG先進的潔凈充裝設備，產品指標達到國際先進水準，已長期穩定供應歐盟、美國、日本、韓國、臺灣等國家和地區的半導體和液晶面板客戶。
特殊氣體-WF6,六氟化鎢
沛珅代理電子級六氟化鎢，WF6主要應用於半導體工業的化學氣相沉積工藝中，以沉積鎢金屬。半導體器件製造行業通常用WF6化學氣相沉積來形成鎢膜。我們該項目採用原廠自製三氟化氮與鎢反應製備六氟化鎢的 合成工藝和吸附、精餾等純化工藝，同時採用先進的自動化充裝、分析系統，電子級六氟化鎢生產技 術達到國際先進水平，生產安全性能高，產品質量穩定。
特殊氣體-CF4,四氟化碳
沛珅代理電子級四氟化碳，CF4主要應用於用於各種積體電路的等離子刻蝕工藝，也用作雷射氣體，用於低溫製冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，四氟甲烷高純氣及四氟甲烷高純氣、高純氧的混合氣，可廣泛套用於矽、二氧化矽、氮化矽、磷矽玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池生產、雷射技術、低溫製冷、泄漏檢驗、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。同時採用先進的自動化充裝、分析系統，電子級六氟化鎢生產技 術達到國際先進水平，生產安全性能高，產品質量穩定。
本公司特氣可供應如下表，歡迎洽詢。
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