—— 半導體與太陽能製程資產再生專家 ——
1. 核心維修服務 (Core Services)
真空閥門全系列翻修 (Vacuum Valve Refurbishment)
我們具備完善的檢修流程，能將受損或老舊的閥門恢復至原廠性能標準，有效延長資產壽命。
• 角閥 (Angle Valves)：專修 SMC (XLA/XLD 系列)、VAT (21/24 系列)、MKS。包含焊接或成型波紋管更換、KF/ISO 密封面研磨。
• 閘閥 (Gate Valves)：針對高真空環境之隔離閥進行密封性修復、機構組件校準與防塵密封強化。
• 門閥 (Door Valves)：針對 Load Lock（進出料室）與爐管之大門閥，進行耐壓差密封維修與重型動作機構維護。
• 狹縫閥 (Slit Valves)：專門處理集群式傳送室 (Cluster Tool) 之狹窄晶圓通道，執行 L-Motion 軌跡調校與極致減塵處理。
精密切焊與組件再生 (Precision Welding & Fabrication)
• 真空波紋管 (Bellows) 維修製作：
• 焊接式 (Welded Bellows, WB)：提供高靈敏度、緊湊型空間之多層焊接修復。
• 成型式 (Formed Bellows, FB)：一體成型、圓潤外觀、長行程之真空管件更換。
• 爐管 (Furnace Tube) 再生：針對損壞部分進行精密裁切、重新銲接 KF/ISO 法蘭，並執行真空熱應力消除與強度測試。
• 超高純度管路 (UHP Gas Line)：採用軌道自動焊接 (Orbital Welding)，確保焊道內壁平整無死角，達成零污染標準。
2. 我們的技術優勢 (Technical Expertise)
• 精密測漏 (Helium Leak Test)：廠內配備高精度氦氣測漏儀，確保所有維修件達成標竿級真空度（洩漏率檢測）。
• 逆向工程能力：具備「按圖施工」與實品測繪能力，可針對停產 (EOL) 閥門或特殊規格 KF 組件進行新品開發。
• 潔淨室標準作業：於 Class 100/1000 潔淨環境進行拆解、清洗與組裝，嚴格控制微塵粒子 (Particle)。
• 在地化快速反應：打破原廠返修長達數月的限制，提供 2-4 週快速周轉，降低生產線停機風險。
3. 服務流程 (Service Workflow)
(1) 需求諮詢：提供閥門型號、標籤或損壞部位照片。
(2) 專業評估：執行殘值、修復可行性分析及正式報價。
(3) 精工修復：精密拆解、化學去汙、關鍵損耗件更換與真空焊接。
(4) 品質驗收：執行多次作動測試、壓力負載測試與高靈敏度測漏。
(5) 密封出貨：採用真空封口包裝（附完整測試報告），確保隨拆即裝。