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半導體材料設備工程

半導體材料設備工程

⚙️ 精銳產品線:從實驗室到產業化

1. 反應裝置系列 (Reaction Systems)

  • 反應蒸餾一體機:創新一體化設計,反應後可直接脫除溶劑,提升生產效率

  • 不鏽鋼加壓反應釜:最高承壓可達 100bar,耐高溫 300℃,支持磁力耦合密封,確保零洩漏操作

  • 固定床加氫裝置:精準控制氣體(MFC)與液體進料,適用於新能源、VOC 催化燃燒及費托合成等複雜反應

2. 精餾與純化裝置 (Distillation & Purification)

  • 電子級高純精餾裝置:專為晶片級純度打造。設備接觸面採 EP 電解拋光,管路採 VCR 接頭或焊接,於潔淨室完成組裝,杜絕微量污染

  • 高熔點物質精餾:全系統「夾套式」加熱保溫,徹底解決易結晶物料堵塞管路的痛點

  • 連續式精餾系統:支持 PLC 自動化監控,為工業化放大提供精確的工藝參數與數據支持。

3. 短程蒸餾與薄膜蒸發 (Molecular Distillation)

  • 分子蒸餾技術:利用極高真空與短受熱時間,在遠低於沸點的溫度下分離熱敏性物質,完美保留物料天然活性

  • 組合式系統:將薄膜蒸發與短程蒸餾串聯,進行預處理脫氣與脫溶,防止飛濺,極大化產能

4. 深度吸附純化 (Adsorption Systems)

  • 精細雜質去除與脫酸:針對精餾無法分離的微量雜質,提供矽膠、分子篩等多元吸附方案。

  • 學研深度開發:與大學機構合作,研發特種選擇性吸附劑,守護半導體前驅物的高純度


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